2 1/2 英寸缸径 2英寸空心杆 实心活塞轴组件。 在外框底部开孔，为维护提供方便 平稳、快速驱动 采用空心杆作为冷却管路的密封导管 在干净的工作室内，可用做基座提升装置，从处理箱内取出、放入硅片。